Kriopumpa je vakuumska pumpa koja koristi površinu niske temperature za kondenzaciju gasa, poznata i kao kondenzatna pumpa. Kriopumpa može postići čisti vakuum s najvećom brzinom pumpanja i najnižim krajnjim pritiskom, a široko se koristi u istraživanju i proizvodnji poluvodiča i integriranih kola, kao i u istraživanju molekularnog snopa, vakuumskoj opremi za oblaganje, instrumentima za analizu površine vakuuma, joni. implantati i simulacija prostora. uređaji itd.
Princip pumpanja Kriopumpa je opremljena hladnom pločom koja se hladi na veoma nisku temperaturu tečnim helijumom ili frižiderom. Kondenzira gas i održava pritisak pare kondenzata ispod krajnjeg pritiska pumpe, kako bi se postigao efekat pumpanja. Glavne funkcije niskotemperaturnog pumpanja su niskotemperaturna kondenzacija, niskotemperaturna adsorpcija i hvatanje niske temperature.
cryopump
① Niskotemperaturna kondenzacija: molekuli gasa se kondenzuju na površini hladne ploče ili na sloju kondenzovanog gasa, a ravnotežni pritisak je u osnovi jednak pritisku pare kondenzata. Kada se pumpa vodonik, temperatura hladne ploče je niža.
②Adsorpcija na niskim temperaturama: Molekuli gasa se adsorbuju na površini adsorbenta obloženom na hladnoj ploči sa debljinom od jednog molekularnog sloja. Ravnotežni pritisak za adsorpciju je mnogo niži od pritiska pare na istoj temperaturi.
③Kriogeno zarobljavanje: Molekuli gasa koji se ne mogu kondenzovati na temperaturi ekstrakcije su zakopani i adsorbovani rastućim slojem kondenzovanog gasa.