Vakum pumpa koja koristi površinu niske temperature za kondenzaciju plina, također poznata kao kondenzatna pumpa. Kriopumpa je vakuum pumpa sa najnižim krajnjim pritiskom i najvećom brzinom pumpanja za postizanje čistog vakuuma. Široko se koristi u istraživanju i proizvodnji poluprovodnika i integrisanih kola, kao i u istraživanju molekularnog snopa, opremi za vakuumsko oblaganje, instrumentima za analizu površine vakuuma, implantatorima jona i simulaciji svemira. uređaji itd.
Princip pumpanja Kriopumpa je opremljena hladnom pločom koja se hladi na veoma nisku temperaturu tečnim helijumom ili frižiderom. Kondenzira gas i održava pritisak pare kondenzata ispod krajnjeg pritiska pumpe, kako bi se postigao efekat pumpanja. Glavne funkcije niskotemperaturnog pumpanja su niskotemperaturna kondenzacija, niskotemperaturna adsorpcija i hvatanje niske temperature. ① Niskotemperaturna kondenzacija: molekuli plina se kondenziraju na površini hladne ploče ili na sloju kondenziranog plina, a ravnotežni tlak je u osnovi jednak tlaku pare kondenzata. Prilikom pumpanja zraka temperatura hladne ploče mora biti niža od 25K; kada se pumpa vodonik, temperatura hladne ploče je niža. Debljina niskotemperaturnog kondenzacijskog i ekstrakcijskog kondenzacijskog sloja može doseći oko 10 mm. ②Adsorpcija na niskim temperaturama: Molekuli gasa se adsorbuju na površini adsorbenta presvučenom na hladnoj ploči sa debljinom monosloja (10-8 cm). Ravnotežni pritisak za adsorpciju je mnogo niži od pritiska pare na istoj temperaturi. Ako je pritisak pare vodonika jednak atmosferskom pritisku na 20K, ravnotežni pritisak adsorpcije je niži od 10-8 Pa kada aktivni ugljen sa 20K apsorbuje vodonik. Ovo omogućava izvođenje pumpanja kriogenom adsorpcijom na višim temperaturama. ③Kriogeno zarobljavanje: Molekuli gasa koji se ne mogu kondenzovati na temperaturi ekstrakcije su zakopani i adsorbovani rastućim slojem kondenzovanog gasa.
Uopšteno govoreći, krajnji pritisak pumpe je pritisak pare kondenzovanog gasa na temperaturi hladne ploče. Kada je temperatura 120K, pritisak pare vode je već niži od 10-8 Pa. Kada je temperatura 20K, osim helijuma, neona i vodonika, pritisak pare drugih gasova je takođe niži od {{3} } Pa. Međutim, zbog različitih temperatura pumpanog kontejnera i kriogene hladne ploče, krajnji pritisak pumpe je veći od pritiska pare kondenzata. Za posudu na sobnoj temperaturi, sa kriopanelom od 20K, krajnji pritisak pumpe je oko 4 puta veći od pritiska pare kondenzata.